2024年度国家自然科学基金指南引导类原创探索计划项目——“先进IC制造装备基础前沿”申请指南已通过科学基金网络信息系统（https://grants.nsfc.gov.cn）发布，请依托单位和申请人登录科学基金网络信息系统，在“项目管理-项目指南”模块查看。
本项目旨在破解我国相关领域被“卡脖子”困局，为我国先进 IC 制造装备的自主可控研制提供支撑。本项目预申请提交时间为2024年11月12日——11月13日16:00时。
发布人： 发布日期：2024-10-29
